低蒸汽壓力和壓力起伏對真空泵的特性有較大危害。因而,蒸汽壓力不可小于規定的工作中壓力,太多提升蒸汽壓力不容易提升抽汽量和真空值。

冷凝水在多級別真空泵中起著關鍵功效。凝結水能使蒸汽充足凝固。真空泵排出壓力中的水蒸汽分壓務必高過相對應的全蒸汽壓,因而,冷凝水的溫度也應小于電機額定功率的溫度,以確保泵殼的常規運作。
噴嘴安裝不對,不管采用哪種防范措施,噴嘴阻塞全是難以避免的。一方面因為蒸汽管路的安裝,管路沉渣中的鐵屑會阻塞噴嘴; 另一方面,當真空泵系統軟件停止運行時,蒸汽管路非常容易銹蝕,應用塞式噴嘴時發生銹跡。
在鋼液處理方式中,鋼液會釋放很多汽體,還會繼續有一部分細空氣氧化粉末狀鍍層和別的小顆粒被吸進真空泵內,這種小顆粒會沉積并粘附在泵殼上,進而降低了管道的總流量,增加了泵的水下混凝土時間,減少了泵的水下混凝土作用。